利点

高感度

・微量元素の定量分析 (~ppm、ときに~ppbレベル)

・EPMAで測れない軽元素(H, Li, Be, B, C, N)の分析にも威力を発揮

同位体組成のスポット分析

　H, B, C, N, O, Mg, Si, K, Ca, Ti, Cr, etc.

元素(同位体)マッピング

欠点

破壊分析

　・ただし分析によってできるクレーターの深さは1-2μmであり、薄片を用いて何度も分析することが可能。

マトリックス効果（matrix effect: 分析結果の対象物依存性）が大きい

　⇒ 通常、化学組成、同位体組成が既知の標準試料(standard)を同一条件で分析して結果を規格化。

消滅核種を用いた初期太陽系年代学

(²⁶Al-²⁶Mg, ⁵³Mn-⁵³Cr, ⁶⁰Fe-⁶⁰Ni, ¹⁰Be-¹⁰B, etc.)

酸素同位体分析

(隕石中のCAI, コンドルール)

希土類元素分析

(隕石中のCAI)

拡散・蒸発などによる同位体分別

(forsteriteの蒸発に伴うMg同位体分別、拡散実験)

微量元素分析

(Sr, Ba, etc.)