Planetary Material Sciences Laboratory, top page

Facilities list

Secondary ion mass spectrometry (SIMS, Cameca ims-6f)
Scanning electron microscope with EDS detector (SEM-EDS)
Cathodoluminescence detector, color
Surface Profiler(DEK-TAK3)
Scanning laser microscope
Magnetic mineral separator (ISODYNAMIC)
Ion sputtering machine
Centrifugal separator
Particle size analyzer (LDSA-1310A)
Nd-YAG laser
Quadrupole mass spectrometer (QMS) for N, C, noble gases


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The University of Tokyo School of Science Department of Earth and Planetary Science
All Rights Reserved, Copyright (C) 2002 Planetary Material Sciences Laboratory, The University of Tokyo



Scanning electron microscope with EDS detector

SEM-EDS (JEOL, JSM-5310)

 (General information written in Japanese)
 細く絞った電子線を試料表面に照射し、その部分から放射される二次電子、反射電子、特性X線、光を分析できる機器です。試料表面の数ミクロンオーダーの情報を得ることができます。

SEM鏡筒部分

 当方には、JEOL社製 JSM-5310 があります。表面をダイヤモンド、もしくはアルミナで鏡面研磨した試料の分析をする事が出来ます。試料は直径30mmまで。薄片でも、樹脂に埋め込んだ試料でもOKです。炭素蒸着をして、表面の導通を取ってから、分析します。この機器でできるのは、以下の項目です。

二次電子像(SEI): 表面画像
反射電子像(BEI): 平均分子量像、凸凹像
特性X線: 元素組成の定性、定量分析に使用
光子像(カソードルミネッセンス): 鉱物の成長軌跡など(→ CL の説明


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Cathodoluminescence detector, color

Color CL

(General information written in Japanese)
 細く絞った電子線を試料表面に照射し、その部分から放射される光を分析する機器です。試料表面の数ミクロンオーダーの情報を得ることができます。この機器は、走査型分析電子顕微鏡(SEM-EDS)に付いています。

CL detector

 当方には、Gatan社製 Mini-CL があります。元来は、単色カソードルミネッセンス分析器です。私たちは、光電子増倍管(フォトマル)の前にカラーフィルターをはめられるように、改造しました。赤、青、緑のバンドパスフィルターを通したルミネッセンス像を取得、合成することで、カラーカソードルミネッセンス像が得られるようになりました。ほかにも、UVバンドパスフィルターを保有しており、コランダムの分析に役に立っています。

CL filters
A87319 BEIMAGE A87319 CLIMAGE SEM-EDS に付属しているので、ルミネッセンス像と元素組成を同時に分析することが出来ます。(A87319 隕石の反射電子像(左)とカラーCL像(右))

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Surface Profiler

DEK-TAK 3

(General information written in Japanese)
 先端にダイヤモンドの付いた細い触針で試料表面をなぞり、ミクロンオーダーの表面形状を分析する機器です。

DekTak3

 当方には、日本真空社製 DEK-TAK 3 があります。この機器で、SIMSで掘った分析点の深さ、形状を調べたりします。

  • ダイヤモンド触針...12.5 μm径
  • 垂直測定範囲.........10nm - 65.5μm
  • 垂直解像度..............1.0nm
  • 測定距離...................50μm - 30mm
  • 最大試料厚さ...........20mm
  • 試料台径...................127mm
  • Windows 3.1でコントロール

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Scanning laser microscope

Lasertec: 1LM21H

Scanning laser microscope

(General information written in Japanese)
 レーザー光を走査することで、試料表面を高解像度で観察できる機器です。当方には、レーザーテック社製 1LM21 があります。Nikonの双眼光学顕微鏡に接続して、使用しています。

非接触で、表面形状を測定できます。試料をz軸方向に移動しながら、焦点の合うz軸の高さ情報を記憶させることで、高さを測定します。パソコン処理により、三次元の立体表示が可能です。

  • He-Neレーザー光源
  • 走査時間................................1/30秒
  • 光学的解像度......................0.25μm
  • 微小寸法測定精度(σ).....0.01μm
  • 表面形状測定範囲.............0.1 - 600μm
  • 表面形状測定精度(σ)....<0.03μm

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Magnetic mineral separator

ISODYNAMIC

ISODYNAMIC

(General information written in Japanese)
 岩石より取り出した鉱物粒を、大きな二つの磁石の間を、ゆっくり揺らしながら通し、磁性鉱物と非磁性鉱物を分離する機械です。当方には、Franz社製 ISODYNAMIC があります。


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Ion sputtering machine

Quick Auto Coater: JFC-1500

Ion sputtering machine

(General information written in Japanese)
 非導電性試料への各種金属コーティング、またはエッチングなどの処理に使用できる装置です。当方には、JEOL社製 JFC-1500があります。(炭素真空蒸着装置は、別に所有しています。

  • スパッタリング方式
      ....................二極対向電極放電方式
  • コーティングターゲット
      ....................50mm径 Au(金)
  • 使用真空度..........〜10-1Pa
  • 試料台径..................70mm
  • 膜厚(プリセット方式)......1-数千Å

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Centrifugal separator

Centrifugal separator

(General information written in Japanese)
 当方には、KOKUSAN社製 H-108M2があります。

  • 最高回転数 .........5000rpm
      (100-5000rpm; 100rpm 単位で設定)
  • 最大遠心力....4620×g
      (10-4620×g; 50×g 単位で設定)
  • 最大容量................1000ml
  • タイマー...................0-99 分

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